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摘要:微细加工工艺方法主要包括机械加工、激光加工、电子束加工等类型。这些工艺方法广泛应用于微纳制造、生物医学工程、航空航天等领域。微细加工能够实现微小零件的精密加工,提高产品性能和可靠性。本文概述了这些工艺方法的主要...